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一大早,李树身着闷热的防尘服,在无尘化车间内指挥着工人们总装极光1号改进型光刻机。
结构件和冲压部件已经交给京钢以及牡丹电视厂生产,诸如镜头和光源以则由振蓝进行小规模量产。
由于目前HXNB-888还未实现量产,所以光刻机控制系统的MCU芯片还是从日本小批量进口,由牡丹电视厂负责焊接。
李树的目标是生产六台极光1号改进型,随后开始生产极光2号,而极光2号将是400纳米级别的紫外光UV光刻机。
由于极光2号的光源升级为肉眼看不见的紫外,所以对准系统和CCD(电荷耦合元件)精度也要随之提高。
目前所用的高精度小型轴承京钢的轴承产线倒是能够生产,不过CCD零件还是难以自给自足,还是依赖进口,那又是漫长的审批过程。
在员工提示李树已经总装完成之后,李树才从思绪中回过神来。
员工们随后把一桶光刻胶搬出来,开始进行调和搅拌。
这个过程不能混入一点儿灰尘,否则会导致光刻失败。
由于有黑科技系统提供的教学手册,员工们操作都很熟练,李树很满意。
目前由于光刻胶涂抹控制系统还在紧急研发中,所以光刻胶搅拌和涂抹,都暂时由人工完成。
混合均匀的光刻胶开始在旋转的硅片上均匀涂抹,从李树目测来看,这一过程做得很不错,完全达到了自动涂抹的过程。
在涂胶完成之后,员工安装好第一层掩模板,等着李树进行最后的指令操作。
掩模板是李树自行制造的,也形成了相关的技术手册,为批量量产做好了一切准备。
李树又确认了一遍无误之后按下了确定按钮。
镜头开始在掩膜板上方,按照图纸进行步进式重复动作,发出吱吱的机械声音。
无论是未来体量巨大的EUV(极紫外光)光刻机,还是目前这样很小的可见光光刻机,工作原理其实没有多大变化,关键是技术难度的巨大升级。
所有人静静的等了三十分钟后,电脑屏幕上提示第一层光刻过程完成。
李树随即向电脑下达了显影的指令,随后开始进行第二层光刻,在第二层光刻开始前,掩模版又换了一块。
这时候李树的心情是紧张的,虽然他早就在超级模拟器里进行过大量光刻机工作过程的模拟,但在现实中总是有这样那样的问题。
三个小时候,